在工業(yè)和研究中高精度表面分析發(fā)揮著至關重要的作用它可以幫助確保材料和組件實現(xiàn)令人滿意的性能，但同時也面臨著諸多挑戰(zhàn):表面結構錯綜復雜，高傾斜度區(qū)域要求橫向分辨率達到數(shù)微米，而關鍵性微觀峰谷要求垂直分析達到亞納米級。雖然共聚焦顯微技術可以提供高橫向分辨率但要實現(xiàn)亞納米級垂直分辨率則需要干涉測量技術。